1) 蚀刻机理： fecl3+cu→fecl2+cucl

fecl3+cucl→fecl2+cucl2

cucl2+cu→2 cucl

2) 影响蚀刻速率的因素：

a、fe3+浓度的影响：fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中fe3+浓度逐渐增加，对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时，由于溶液粘度增加，蚀刻速率反而有所降低。

b、蚀刻液温度的影响：蚀刻液温度越高，蚀刻速率越快，温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则，一般在40~50℃为宜。

c、盐酸添加量的影响：在蚀刻液中加入盐酸，可以抑制fecl3水解，并可提高蚀刻速率，尤其是当溶铜量达到37.4g/l后，盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。

d、蚀刻液的搅拌：静止蚀刻的效率和质量都是很差的，原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉淀会影响进一步的蚀刻。